等離子清洗機在現(xiàn)在的工業(yè)生產(chǎn)中起到很重要的作用，現(xiàn)在等離子清洗機在很多企業(yè)中都是不可缺少的清洗設備。等離子清洗不需要添加任何溶劑，且無有害物質(zhì)產(chǎn)生，也通常被叫做環(huán)保型的干式清洗，那么等離子清洗機是如何達到清洗的效果呢？

等離子體清洗原理：通過化學或物理作用對工件表面進行處理，實現(xiàn)分子水平的污染物去除（一般厚度為幾個～幾十個nm）。被清除的污染物可能為有機物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等。對應不同的污染物，應采用不同的清洗工藝。按照清洗原理可以分為：物理清洗和化學清洗。自動等離子清洗機

物理清洗：表面作用以物理反應為主的等離子體清洗，也叫濺射腐蝕（SPE）。我們以Ar來說明等離子清洗機的化學反應。

例：Ar＋e- →Ar＋＋2e-     Ar＋＋沾污→揮發(fā)性沾污

Ar＋在自偏壓或外加偏壓作用下被加速產(chǎn)生動能，然后轟擊在放在負電極上的被清洗工件表面，工件表面的污染物被轟擊后，游離在腔體內(nèi)部，然后經(jīng)過真空泵抽出腔體外部。一般用于去除氧化物、環(huán)氧樹脂溢出或是微顆粒污染物。

化學清洗:表面作用以化學反應為主的等離子體清洗，又稱PE。

例1：O2＋e- →2O*＋e-      O*＋有機物→CO2＋H2O

從反應式可見，氧等離子體通過化學反應可使非揮發(fā)性有機物變成易揮發(fā)的H2O和CO2。

例2：H2＋e- →2H*＋e-      H*＋非揮發(fā)性金屬氧化物→金屬＋H2O

從反應式可見，氫等離子體通過化學反應可以去除金屬表面氧化層，通常用于清潔金屬表面，在清洗過程中避免金屬氧化。,等離子清洗機廠家

在正常的清洗過程中物理清洗與化學清洗時同時存在的，可以根據(jù)具體要求選擇不同的工藝氣體。

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